近年來臭氧氧化越來越廣泛的應(yīng)用于印染、石化、造紙、煤化工、紡織、香料、制藥、電子等行業(yè)的工業(yè)廢水處理，但是臭氧氧化的選擇性很強(qiáng)，對于不同行業(yè)的工業(yè)廢水適用性差別較大，對于同一行業(yè)的工業(yè)廢水也會因?yàn)樯a(chǎn)原料、生產(chǎn)工藝的不同造成廢水濃度喝成分的區(qū)別而使臭氧氧化的適用性發(fā)生改變。
臭氧氧化工藝不是對于所有難降解污染物都有去除作用，也不適用于所有難處理工業(yè)廢水。如果臭氧氧化無法達(dá)標(biāo)，還需要考慮其他物化工藝?yán)鏔enton法、超聲波、電解、反滲透、離子交換、電滲析或其他高級氧化工藝。
臭氧氧化在工藝流程中的位置大致有以下三個，也可以是三個位置的組合。
（1）第一個位置是預(yù)臭氧氧化
臭氧氧化放在生物處理前作為預(yù)臭氧氧化的目的一般為提高廢水的可生化性，但這種方式不是對所有廢水都適用。
應(yīng)注意考慮臭氧會優(yōu)先氧化容易降解的污染物，易降解污染物優(yōu)先消耗臭氧，難降解的污染物需要更多的臭氧劑量和更長的反應(yīng)時間方能降解為生物可降解物質(zhì)，從而提高廢水的可生化性。因此，預(yù)臭氧氧化可能造成較大的臭氧消耗量。
（2）第二個位置是深度處理臭氧氧化
將臭氧氧化位置置于生物處理下游作為深度處理，以強(qiáng)氧化作用處理未能被生物降解的污染物，使出水最終達(dá)標(biāo)。
因此適用于有實(shí)際工程經(jīng)驗(yàn)或試驗(yàn)數(shù)據(jù)支撐的廢水處理工程。對于某些難降解廢水，臭氧氧化需要結(jié)合光催化或活性炭來實(shí)現(xiàn)。
（3）第三個位置是深度處理提高廢水可生化性
當(dāng)廢水經(jīng)過生物處理后可生化性低，殘余的難生物降解污染物如果全部用于臭氧氧化處理到達(dá)標(biāo)可能對臭氧的消耗量過大，投資和運(yùn)行費(fèi)用高，不經(jīng)濟(jì)，此時可以將臭氧氧化作為提高廢水可生化性的深度處理設(shè)施來考慮，臭氧氧化后進(jìn)行第二次生物處理（一般用曝氣生物濾池、生物活性炭等）使出水達(dá)標(biāo)，則臭氧消耗量和費(fèi)用都會大大降低。
臭氧的投加劑量和接觸反應(yīng)時間基于工程經(jīng)驗(yàn)確定，隨著臭氧氧化功能和廢水特點(diǎn)不同而不同，如果沒有經(jīng)驗(yàn)可參考則應(yīng)進(jìn)行小試、中試確定，分以下幾種情況：
（1）對于飲用水消毒和殺菌，臭氧劑量為1-3mg/L，如果水源水質(zhì)不好，需要提高到3-5mg/L，接觸時間12-15min，水中臭氧殘留量≤0.3mg/L，去除率99%。
同樣劑量和接觸時間條件下，受污染給水水源除臭除味除色的去除率為80%-90%。
（2）游泳池循環(huán)水處理中臭氧劑量取2mg/L。
（3）市政用于臭氧脫色劑量多為5mg/L，反應(yīng)15min。
（4）臭氧對于有機(jī)物的氧化順序?yàn)椋烘湡N＞胺＞酚＞多環(huán)芳香烴＞醇＞醛＞鏈烷烴。
氧化1mg氰消耗臭氧1.87mg，氧化1mgCN-需消耗臭氧2-2.5mg。
當(dāng)用于去除水中的CN-、酚、ABS等雜質(zhì)時，接觸時間5-10min，去除率可達(dá)90%。
目前市政污水高級氧化投加量為20-30mg/L，反應(yīng)時間40-60min。
（5）對于難降解污染物，沒有實(shí)踐數(shù)據(jù)情況下臭氧投加量估算為1-3mg（臭氧）/mg有機(jī)物。
臭氧發(fā)生裝置的產(chǎn)量應(yīng)滿足最大臭氧加注量的要求，并應(yīng)考慮備用能力。
選擇臭氧發(fā)生器系統(tǒng)要了解臭氧處理過程是受消毒用的傳質(zhì)控制還是由臭氧氧化用的反應(yīng)速率控制的、可利用水頭如何、整個臭氧發(fā)生系統(tǒng)可利用的氣體壓力如何、臭氧利用要求到什么程度、液體臭氧攝取率如何。