近年來臭氧氧化越來越廣泛的應用于印染、石化、造紙、煤化工、紡織、香料、制藥、電子等行業(yè)的工業(yè)廢水處理，但是臭氧氧化的選擇性很強，對于不同行業(yè)的工業(yè)廢水適用性差別較大，對于同一行業(yè)的工業(yè)廢水也會因為生產(chǎn)原料、生產(chǎn)工藝的不同造成廢水濃度喝成分的區(qū)別而使臭氧氧化的適用性發(fā)生改變。
臭氧氧化工藝不是對于所有難降解污染物都有去除作用，也不適用于所有難處理工業(yè)廢水。如果臭氧氧化無法達標，還需要考慮其他物化工藝例如Fenton法、超聲波、電解、反滲透、離子交換、電滲析或其他高級氧化工藝。
臭氧氧化在工藝流程中的位置大致有以下三個，也可以是三個位置的組合。
（1）第一個位置是預臭氧氧化
臭氧氧化放在生物處理前作為預臭氧氧化的目的一般為提高廢水的可生化性，但這種方式不是對所有廢水都適用。
應注意考慮臭氧會優(yōu)先氧化容易降解的污染物，易降解污染物優(yōu)先消耗臭氧，難降解的污染物需要更多的臭氧劑量和更長的反應時間方能降解為生物可降解物質(zhì)，從而提高廢水的可生化性。因此，預臭氧氧化可能造成較大的臭氧消耗量。
將臭氧氧化位置置于生物處理下游作為深度處理，以強氧化作用處理未能被生物降解的污染物，使出水最終達標。
因此適用于有實際工程經(jīng)驗或試驗數(shù)據(jù)支撐的廢水處理工程。對于某些難降解廢水，臭氧氧化需要結(jié)合光催化或活性炭來實現(xiàn)。
（3）第三個位置是深度處理提高廢水可生化性
當廢水經(jīng)過生物處理后可生化性低，殘余的難生物降解污染物如果全部用于臭氧氧化處理到達標可能對臭氧的消耗量過大，投資和運行費用高，不經(jīng)濟，此時可以將臭氧氧化作為提高廢水可生化性的深度處理設(shè)施來考慮，臭氧氧化后進行第二次生物處理（一般用曝氣生物濾池、生物活性炭等）使出水達標，則臭氧消耗量和費用都會大大降低。
臭氧的投加劑量和接觸反應時間基于工程經(jīng)驗確定，隨著臭氧氧化功能和廢水特點不同而不同，如果沒有經(jīng)驗可參考則應進行小試、中試確定，分以下幾種情況：
（1）對于飲用水消毒和殺菌，臭氧劑量為1-3mg/L，如果水源水質(zhì)不好，需要提高到3-5mg/L，接觸時間12-15min，水中臭氧殘留量≤0.3mg/L，去除率99%。
同樣劑量和接觸時間條件下，受污染給水水源除臭除味除色的去除率為80%-90%。
（2）游泳池循環(huán)水處理中臭氧劑量取2mg/L。
（3）市政用于臭氧脫色劑量多為5mg/L，反應15min。
（4）臭氧對于有機物的氧化順序為：鏈烴＞胺＞酚＞多環(huán)芳香烴＞醇＞醛＞鏈烷烴。
氧化1mg氰消耗臭氧1.87mg，氧化1mgCN-需消耗臭氧2-2.5mg。
當用于去除水中的CN-、酚、ABS等雜質(zhì)時，接觸時間5-10min，去除率可達90%。
目前市政污水高級氧化投加量為20-30mg/L，反應時間40-60min。
（5）對于難降解污染物，沒有實踐數(shù)據(jù)情況下臭氧投加量估算為1-3mg（臭氧）/mg有機物。
臭氧發(fā)生裝置的產(chǎn)量應滿足最大臭氧加注量的要求，并應考慮備用能力。
選擇臭氧發(fā)生器系統(tǒng)要了解臭氧處理過程是受消毒用的傳質(zhì)控制還是由臭氧氧化用的反應速率控制的、可利用水頭如何、整個臭氧發(fā)生系統(tǒng)可利用的氣體壓力如何、臭氧利用要求到什么程度、液體臭氧攝取率如何。